单晶蓝宝石基板

单晶蓝宝石基板


采用EFG法(Edge-defined Film-Fed Growth Method)将单晶蓝宝石提拉成板状制造。通过将蓝宝石提升为板状,可以省去切割(加工)的麻烦,可以在短时间内准备精度高的蓝宝石基板。可支持8英寸角以内的大型基板。EFG法可以在任意的面方位上制造结晶,可以对应c面、r面、a面、m面等所有的面方位。并且,精密研磨加工,精密(0.1度以下)控制着关断角度。关断角度的精密度,对试样的成长培育变得重要。除了一般的LED用途的标准grade基板之外,还准备了高品质的Prime grade基板。