表面活化室温键合机

丰港化学(TOYOKOU)

表面活化室温键合机


表面活化后超高真空中原位加压室温键合,无需加热、无界面反应层、氧化层、无热应力,材料选择自由度高、高对准精度,高产出,高效率、定向线性离子束源实现表面原子级刻蚀与高效活化。