将针（探针）放在晶片上通电，确认是否正常工作的装置。作为本装置的特点，具有探针时，从料台的下部对试样进行光照射的机构。
温度范围：400K～90K以下，样品尺寸：30mm×30㎜、t=0.6㎜,1.0㎜
