玻璃基板外形检查装置

高精度测量小型玻璃底板和面板的外形检查。可对外形尺寸（最大幅度）/毛刺检测/欠缺检测/切断偏移检查/玻璃流入部进行尺寸测量。此外，还配备了测定MAP显示功能、图像保存等功能。此外，通过面板角度的自动修正功能，将工件放置在检查台上时无需正确调整角度。如果设置在范围内，则自动校正角度。放置角度过大会影响测量精度，因此会显示警报。