AST

碳化硅抛光盘

减少因热引起的变形。优异的耐化学性，适用于各种表面形状的加工。单片抛光盘，导热系数高，热膨胀系数低，杨氏模量高，受热均匀性极好，盘本身受热变形极小。它还具有优良的耐化学药品性，可加工成凸形、凹形、平面形等各种形状，用于板面加工。

材料：碳化硅 (SiC)

形状：可提供凸面、凹面和平面

尺寸：MAXφ30"

准确性：平面度1μm以下

应用实例：晶圆固定治具