菲科（PHT）

设备前端模块 EFEM

通过安装新型清洁机器人和高速线性移动轴，实现了高速传输系统。 可连接OHT和AGV。通过安装两个对准器可以实现更高的吞吐量、兼容真空保持型和边缘夹紧型（可选）、可用于200mm/300mm（可选）