单晶圆剥离设备

将晶圆一张一张浸入化学溶液中，使抗蚀剂膨胀并去除附着的金属。然后将其冲洗、更换、高压旋转洗涤和干燥并储存在盒中。

通过进行2槽并列处理，提高了节拍时间。