松下Panasonic

多层膜溅射设备S600

高质量、高精度的沉积提高了器件质量

通过提高产量、改善产量和优化材料利用效率来提高成本竞争力

各种沉积条件的选择使得高频率切换工艺的小型生产和灵活的生产计划成为可能。