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松下Panasonic
干法刻蚀机APX300
由于高速LED薄膜处理,APX300有助于蚀刻工艺中的高生产率
LED基板表面可以蚀刻成各种形状,如梯形和圆锥形
将设备集中在一个箱子中有助于提高区域生产力